多量程傳感器配置:提供1mm、2mm、28mm等多種垂直量程選項,滿足從微小結(jié)構(gòu)到較大起伏表面的測量需求。其中1mm量程下分辨率低至4nm,寬范圍傳感器(28mm量程)分辨率達(dá)426nm,可兼顧精密加工零件的粗糙度檢測與常規(guī)工業(yè)部件的輪廓測量。水平方向配備50mm驅(qū)動行程,配合0.5μm的高密度采樣間隔,能有效捕捉刀痕、微裂紋、邊緣輪廓等微小特征,同時縮短無效測量區(qū)域,提升小零件測量效率。
超高直線度基準(zhǔn):驅(qū)動系統(tǒng)直線度誤差低至0.20μm/20mm,部分型號優(yōu)于0.30μm/50mm,為大尺寸工件的波紋度、宏觀形狀誤差測量提供了可靠基準(zhǔn),支持無滑行器測量模式,即使在大型部件上也能保證數(shù)據(jù)真實(shí)性。
無損測量技術(shù):搭載智能探針壓力控制系統(tǒng),測量力可調(diào)節(jié)至0.1mN以下,結(jié)合自動調(diào)平平臺,能根據(jù)軟質(zhì)材料(如聚合物、光學(xué)涂層)、薄膜及高價值精密光學(xué)元件的特性動態(tài)調(diào)節(jié)接觸力,避免表面損傷,實(shí)現(xiàn)敏感表面的無損測量。




