泰勒霍普森PGI系列是一款集高精度表面粗糙度與輪廓測量于一體的多功能計量儀器，廣泛應(yīng)用于精密制造、光學(xué)元件、半導(dǎo)體、汽車、航空航天及科研領(lǐng)域。
核心技術(shù)特點
相位光柵干涉測量技術(shù)（PGI）
PGI 系統(tǒng)采用獨特的相位光柵干涉原理，結(jié)合高穩(wěn)定性機械結(jié)構(gòu)與精密光學(xué)系統(tǒng)，實現(xiàn)對表面形貌的非接觸或接觸式高精度測量。該技術(shù)可同時滿足粗糙度（Ra、Rz 等）和宏觀輪廓（如曲率半徑、傾角、臺階高度）的測量需求。
超高垂直分辨率
垂直分辨率可達 0.1 納米，水平分辨率優(yōu)于 0.1 微米，適用于超光滑表面（如光學(xué)鏡片、硬盤基板、半導(dǎo)體晶圓）的精密表征。
多功能一體化平臺
PGI 系列支持：
表面粗糙度參數(shù)（ISO 4287/21920 標準）
輪廓形狀分析（球面、非球面、自由曲面）
臺階高度與薄膜厚度測量
波紋度與形狀誤差評估
配套專業(yè)分析軟件提供直觀的3D/2D可視化界面，支持自動報告生成、數(shù)據(jù)比對、SPC統(tǒng)計過程控制及符合 ISO/GPS 標準的數(shù)據(jù)輸出。
高穩(wěn)定性機械結(jié)構(gòu)
采用天然花崗巖基座、空氣軸承導(dǎo)軌及主動隔振系統(tǒng)，確保在工業(yè)環(huán)境或計量實驗室中均能獲得可重復(fù)、高可靠性的測量結(jié)果。
典型應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)行業(yè)：非球面透鏡、激光反射鏡、衍射光學(xué)元件（DOE）的面形與粗糙度檢測
半導(dǎo)體與微電子：晶圓表面平整度、CMP后粗糙度、MEMS結(jié)構(gòu)輪廓
精密機械：軸承滾道、密封面、刀具刃口的微觀形貌分析
科研與計量院所：納米材料、超精密加工工藝驗證、標準樣塊校準
